I/O远程模块在半导体设备上的应用主要体现在晶圆搬运设备和IC固晶机中,主要用于高精度、高速度的自动化控制。

在晶圆搬运设备中的应用
在半导体行业中,晶圆搬运设备是关键设备之一,要求高精度和高速度。I/O远程模块在晶圆搬运设备中的应用满足了这些要求,确保了晶圆在各个处理站之间快速、精确地传送。具体应用包括:
传输到位信号:I/O远程模块用于传输到位信号,确保晶圆在各个处理站之间的准确传送。
驱动电磁阀:通过I/O远程模块控制电磁阀,实现晶圆的精确搬运。
通讯稳定性:数字量模块支持多种工业总线协议,如EtherCAT、PROFINET等,确保通讯稳定,数据不丢包。
在IC固晶机中的应用
IC固晶机是半导体封装工艺中的关键设备,主要用于固定晶体和半导体封装。I/O远程模块在IC固晶机中的应用包括:
物料盘各点到位信号:数字量输入信号用于检测物料盘各点的到位情况。
电磁阀和夹爪吸盘控制:输出信号控制电磁阀和夹爪吸盘,实现精确的操作。
电机驱动:模拟量模块用于物料盘的电机驱动,确保设备的稳定运行。